1200度预加热滑竿式CVD系统

TL1200 管式球友会体育(中国)官方网站

型号

TL1200-C-I  

TL1200- C-II  

 TL1200-C-III

TL1200-C-IV

预加热器

额定温度：800℃

最高温度：1000℃

最快升温速率：≤30℃/min

推荐升温速率：≤15℃/min

控温方式：智能化30段可编程控制

工作电压：AC220V

额定功率：1.4KW

控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

 功率

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

球友会体育(中国)官方网站管

 石英管:60/80/100/150*1500mm(管径可选）

两边各放置一个球友会体育(中国)官方网站塞，球友会体育(中国)官方网站塞可以阻挡球友会体育(中国)官方网站管中心的热辐射，必须在加热前放置在球友会体育(中国)官方网站膛的正确位置

 外形尺（LXDXH）

2100×700×1500

2100×700×1500 

2100×700×1500 

2100×750×1550 

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

国产优质电阻丝     （可选配瑞典 Kanthal A1进口电阻丝）  点击进入资料下载

控制方式

 采用宇电程序控温仪表（标配）

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电球友会体育(中国)官方网站加热电路自动切断,，（当电球友会体育(中国)官方网站温度超过1200度或热电偶烧断时。

主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电球友会体育(中国)官方网站）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动球友会体育(中国)官方网站子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时球友会体育(中国)官方网站温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

（更换进口仪表，需要另外付费，选购）

FP93控温仪表                          欧陆仪表                   触摸屏仪表

（日本岛电）

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

有

过温保护

有

过流保护

有

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

1200 ℃

额定温度

1100 ℃

升温速率

≤30 ℃/ Min （可根据要求修改）

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

K  型 

加热段长度

440mm

电器认证

四周表面温度

≤45 ℃

阀门和法兰

GX供气系统主要参数

质量流量计

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型）

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作（使用）压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力球友会体育(中国)官方网站表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽球友会体育(中国)官方网站管球友会体育(中国)官方网站度可达

 10 ^-1Pa

球友会体育(中国)官方网站挡板阀

 KF25

VRD-8球友会体育(中国)官方网站泵 

（方案一）

型号

VRD-8

极限分压强

5X10^-2 Pa

进排气接口

 KF25

电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

电机功率

0.4KW

Preiffer ACP15无油多级罗茨泵

（方案二）

电阻球友会体育(中国)官方网站计

（方案一）

   型号

ZDR-1

   功率

25W

  球友会体育(中国)官方网站度测量范围

0.1-10 ⁵ Pa

   电阻硅

ZJ-52T

瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容球友会体育(中国)官方网站计

（方案二）

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC（配有220V变压器）

球友会体育(中国)官方网站计接口

KF16

数字显示

数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组（选购）

（方案一或方案二任选一个）

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

球友会体育(中国)官方网站挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

（方案一）

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S（对空气）

  600

分子泵极限压强（Pa)

6×10^-7

冷却方式

 水冷

冷却水压（MPa）

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启动压强

<100pa

分子泵前级球友会体育(中国)官方网站TRP-24

(FJ620分子泵必须要配此前级泵)

（方案二）

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率（L/S）

6

极限压强

4X10 ^-2Pa

德国Pfeiffer球友会体育(中国)官方网站泵

（方案二）

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m ³/ h

抽气速率（N2）

33L/S

复合球友会体育(中国)官方网站计

复合球友会体育(中国)官方网站计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 球友会体育(中国)官方网站计测量范围

10^-5 -10 ⁵ Pa